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開発を止めない

半導体製造において感光剤の塗布と現像をおこなう装置「コータ/デベロッパ」は、東京エレクトロン九州の主力製品として、数十年もの間、世界で圧倒的なシェア率を誇っています。その訳は、「納品後も開発をし続ける」という姿勢にあります。お客さまから新機種のオーダーを受け、1台目のコータ/デベロッパを納品。そして、リピートオーダー品となる2台目以降を納品する際には、単純に量産をするのではなく、お客さまの意見をうかがって改善プランを提案しながら、その機能を磨き続けます。「ボイスオブゲンバ（VOG）」をキーワードとして、現場でお客さまからのリアルな情報を拾い、開発を続けていくのです。これにより、開発力は向上し続け、お客さまからの信頼にもつながっています。

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前工程だけでなく、
後工程の装置も

マスク製造⼯程、ウェーハ製造⼯程、前⼯程、後⼯程と、半導体の製造にはさまざまな工程があり、各半導体製造装置メーカーはそれぞれが強みとする領域を持っています。私たちは、コータ/デベロッパに代表される「前工程」の装置を最も得意としながら、既存の工程に捉われず新領域となる後工程の装置も開発し、量産までリリースしています。特に最近では、後工程における「半導体アドバンスドパッケージ」という手法が業界で注目されていますが、私たちは随分前からこの技術に取り組み、装置を開発してきました。「こんなものがあったらおもしろい」「こういうことをやりたい」そんなお客さまのお声に耳を傾け、「やってみましょう」と応えるのが私たちの基本的なスタンス。初めから首を横に振ることはありません。だからこそ、装置のラインアップと技術領域の幅を広げることができているのです。